題-4.jpg)
時(shí)間:2023-08-22| 作者:Admin
芯片制造的過程可以分為以下幾個(gè)步驟:
拉單晶:拉單晶的目的是獲得一顆完美無缺陷的單晶柱。
這個(gè)過程需要將高純度的原料放進(jìn)高溫熔爐中加熱,然后通過提拉的方式緩慢冷卻,形成單晶柱。
打磨晶柱:單晶柱的表面可能存在不規(guī)則的晶面,因此需要進(jìn)行打磨。
這個(gè)過程需要使用磨石和研磨液,將單晶柱的表面研磨成光滑的鏡面。
切割:將打磨好的單晶柱進(jìn)行切割,得到一定尺寸的晶圓。
這個(gè)過程需要使用金剛石鋸和研磨液,將單晶柱切割成較小的晶圓。
拋光:對(duì)切割好的晶圓進(jìn)行拋光,使得其表面更加光滑,以達(dá)到后續(xù)工藝的要求。
這個(gè)過程需要使用拋光布和研磨液,將晶圓表面拋光至鏡面級(jí)別。
檢驗(yàn):對(duì)拋光好的晶圓進(jìn)行檢驗(yàn),以確保其表面質(zhì)量符合要求。
這個(gè)過程需要使用光學(xué)儀器和電子儀器等設(shè)備,對(duì)晶圓的表面進(jìn)行檢測。
包裝:經(jīng)過檢驗(yàn)合格的晶圓需要進(jìn)行包裝,以避免其受到外界環(huán)境的污染和損壞。
這個(gè)過程需要使用特殊的包裝材料,將晶圓固定在合適的容器中,并填充惰性氣體和干燥劑等材料,以確保晶圓的質(zhì)量和穩(wěn)定性。
晶圓處理工序:這個(gè)步驟主要進(jìn)行晶圓加工,包括對(duì)晶圓進(jìn)行清洗、氧化、涂膜、光刻、蝕刻、離子植入、金屬濺鍍等處理。
晶圓針測工序:經(jīng)過上一步后,晶圓上會(huì)形成一個(gè)個(gè)小的晶粒,這一步主要是對(duì)晶粒進(jìn)行測試,以篩選出合格的晶粒。
構(gòu)裝工序:對(duì)經(jīng)過測試的晶粒進(jìn)行裝配,即把晶粒按照一定的要求放在一個(gè)管芯上。
測試工序:對(duì)構(gòu)裝后的芯片進(jìn)行初始測試,以篩選出功能有問題的芯片。
以上就是芯片制造的主要步驟。整個(gè)制造過程需要精確到納米級(jí)別,每個(gè)步驟都必須嚴(yán)格控制,以確保最終產(chǎn)品的質(zhì)量。